机械网-打破CMP设备国外技术垄断，华海清科冲刺科创板

10月15日，上交所正式受理华海清科股分有限公司(以下简称";华海清科")科创板上市申请皮肤苍白。

资料显示，华海清科成立于2013年，是1家具有核心自主知识产权的高端半导体装备制造商，主要从事半导体专用装备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光(CMp)装备。

打破国外技术垄断

据悉，该公司生产的CMp装备可广泛利用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线，产品整体技术性能已到达国际先进水平，是目前国内唯逐一家为集成电路制造商提供12英寸CMp商业机型的高端半导体装备制造商。

根据招股书资料，华海清科核心研发团队前后承当、联合承当了两项";国家科技重大专项(02专项)"及3项国家级重大项目/课题，针对纳米级抛光、纳米颗粒超洁净清洗、纳米精度膜厚在线检测、大数据分析及智能化控制等CMp装备核心关键技术获得了有效突破和系统布局，打破了国外巨头的技术垄断，真正实现了国内市场CMp装备领域的国产替换。

2017年度⑵019年度，CMp装备在华海清科总营收的占比分别为73.69%、89.01%、和92.39%，同时占2020年上半年营收的80.73%。报告期内，华海清科的前5大客户占比分别为98.22%、99.09%、94白斑病药膏有哪些.96%和99.57%。

据了解，华海清科CMp装备已累计出货43台，在手定单26台，装备已广泛利用于中芯国际、长江存储、华虹团体、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外先进集成电路制造商的大生产线中。

募资15亿元加码主营业务

据悉，华海清科此次拟召募资金15亿元，拟全部用于公司主营业务相干的项目及主营业务发展所需资金，包括高端半导体设备(化学机械抛光机)产业化项目、高端半导体设备研发项目、晶圆再生扩产升级项目、和补充活动资金。Source：招股书截图

其中，高端半导体设备(化学机械抛光机)产业化项目计划总投资54,044万元，建设周期为15个月，建设1栋生产厂房、1栋测试车间及相干配套设施，总建筑面积53,000平方米，设计产能为年产100台化学机械抛光机(包括减薄装备)。项目建成后公司将进1步扩大高端半导体设备(主要是高端CMp装备和减薄抛光1体机)生产能力及在化学机械抛光相干领域的研发和服务能力。

目前，该项目已于2020年3月获得施工许可证并开工，建设期预计为15个月。截至本招股说明书签署日，建安工程施工已完成主体结构封顶，预计将于2020年底前开始生产线试运行，2021年上半年完成整体项目验收并正式投产。

高端半导体设备研发项目计划总投资31,185万元，项目通过展开系列技术研发课题，创新研发面向14nm及以下制程先进半导体制造CMp、减薄多项关键技术及系统，并研发相应的成套先进工艺。

另外，华海清科已买通整套晶圆再生工艺流程，并于2020年起开始小范围生产。晶圆再生扩产升级项目以公司自主研产生产的高端CMp装备为平台，配合已开发并成熟利用的CMp工艺，同时搭配新型的单片清洗装备，搭建更大范围生产线用于扩产升级晶圆再生业务。项目计划总投资35,790万元，建设周期为15个月，新增生产装备及仪器46套，项目建成后具有月加工10万片12英寸再生晶圆的生产能力。

对未来发展计划，华海清科表示，未来3⑸年，公司将坚持以集成电路产业需求为导向，以自主研发与产业化利用为关键突破口，加强与上下游核心企业的紧密合作，构成集成电路关键制造设备、耗材及技术服务、晶圆再生代工业务协同发展的技术布局与市场定位，立足国内、面向全球，努力提升在全球集成电路设备领域的市场份额和影响力，发展成为国际知名的集成电路高端设备及技术服务供应商。

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